殷峤的祖父殷不害是陈朝司农卿,本居陈郡(治所在今河南淮阳),陈朝灭亡后,徙居关中。殷峤的父亲殷僧首为隋朝秘书丞,在当时很有名气。殷峤年轻时以学问品行知名,尤其善长写作和书法。殷峤在隋朝时就已出仕,担任太谷县长。殷峤在担任太谷县长期间,很有政